第一卷 吹哨人——玄武计划 第093章 EUV联盟

“古川君?怎了?”众人疑惑的着他。

古川太智说:“就在刚刚,神州科院宣布,他已经突破了极紫外光刻胶生产技术,将始规模制造生产高端光刻胶!”

“什?”几集团的代表猛的站了,“不是玩笑的情!”

“我有玩笑!”古川太智说,“神州的几光刻胶企业宣布,已经获技术授权,立刻建造厂房,始生产!”

众人见他语气焦急,不像是说假话,立刻查询资料。

很快,他便了新闻消息。

“确认消息是真实的吗?”东京应化集团的代表打电话询问集团神州区域的总裁。

“是真实的,我已经派人接触了,他专门展示了品相关数据!”方回复。

“怎快?”场,些樱花光刻胶企业的代表面面相觑,他停货才一月间吧?

一月,他的技术优势,产品垄断,就了?

就连青木贵懵了,真是,他岂不是搬石头砸了己的脚?

他刚刚退神州市场,神州就有了己的高端光刻胶,不是白白市场份额给让吗?世界有蠢的情?

“八嘎!”JSR的代表怒骂,“是一年百亿金的市场,就因愚蠢的协议,拱手让人了?”

青木贵不敢随便说话,些跨国集团的量不,他虚说:“许他早就突破了技术,现在才公布已。”

“不!”古川太智愤怒,“完全是你的愚蠢协议导致的!”

“我消息,就因件,神州调集了全国的专,联合了万企业一研,所进度才快!正常情况,他绝不快突破极紫外光刻胶技术!”

听古川太智的话,其他代表纷纷青木贵怒目视。他了几十年的候,灯国的企业竞争,不容易奠定了光刻胶国际龙头的位,一月内,就被人赶超!

一切,是那什“全面合”协议导致的!

“青木君,我需一解释!”JSR的代表说。

“我的损失,是樱花国的管理者造的!他必须拿解决方案!”东京应化的代表说。

“我集团抗议书的!”富士胶片的代表冷声说,他说的抗议,不是让员工街抗议,是在更高层级的级别博弈。

些资本樱花岛管理方有着千丝万缕的联系,青木贵背冷汗直冒,他知,己一派,已经罪了一资本集团!

候,肯定有人背锅,平息他的怒火,己很背锅侠!

“什,才一月啊!”青木贵在呐喊,技术突破再晚几月,神州一定让步的,什快?

……

极紫外光刻胶的突破,代表了光刻机芯片制造最关键的材料问题已经解决。

同,卢建业的团队已经打磨了极紫外光刻机所需的“镜头”。玩意在前,是花钱买不的产品一,有汉斯的蔡司公司才制造,现在,神州已经己制造了。

其他的高端零部件,在同步制造中。

芯片设计,反比较简单。神州本就设计高精密的芯片,是法制造。何星舟稍加改进,便完了3纳米制程芯片的设计。

现在距离极紫外光刻机制造,及3纳米制程芯片的生产,剩最一问题——极紫外光刀!

何星舟了光电研究所,跟严蕊院士的团队一研究。

激光研究室,严蕊正在讲述他遇的问题:“我现在是采气体喷的方式激光轰击靶材料产生等离子体,等离子体EUV辐,EUV辐经由周期层薄膜反镜组的聚焦系统入反掩模。的EUV光波再通反镜组的投影系统,将反掩模的集电路的几何图形像硅片的光刻胶中,从形集电路所需的光刻图形。”

“理论,程有问题。”何星舟点点头。

“但问题在何在提高EUV光源瓦数的同,降低等离子气氛中微粒、高速粒子其它污染物。”严蕊头疼,“不光源就迅速恶化。有,极紫外投影光刻系统使了反式掩模。”

“我的EUV掩膜缺陷仍高达ldefect/cm2,检测机台的制造水平进一步提升。”

“检测机台的问题,我卢教授那边的团队应该解决。”何星舟说,“至极紫外光源的问题,我了一解决方案。”

“什方案?”群院士专着他。

何星舟说:“光源瓦数的提升,电!”

“在高功率激光加热负载体形等离子体并且次反,形了极紫外光源,候,再设计一放电反应室,让等离子体进一步转化,辐亮度更高,更纯净的极紫外线,果有层反镜,EUV的纳米刻度进一步提升,就有满足3纳米制程的求!”

其实就是解决方案,不何星舟说的委婉了一点。

“做我设!”严蕊似乎有点法了,问:“电反应室……”

“我有设计图!”何星舟说。

“真的?!”众人听他说,精神一振,赶紧说:“让我!”

“议室!”何星舟笑。

众人一前往议室,何星舟呼唤鹿米,让打设计图纸,并且进行讲解。

他讲完,全场鸦雀无声。每人在思考计算。

足足了十分钟,严蕊一站,满欢喜说:“!我初步计算,方案完全有做我求的高亮度极紫外光源!”

“,我的法是一!”有一位老院士站,他兴奋:“放电反应室,真是神笔!光源折损耗,电将等离子转化,形新的高等离子体,不仅有光污染,让极紫外线的纯净度进一步提升,做的光刀,怕达世界最!”

“何总工,你真是才,的方案!”

“那等什,我赶紧试试吧!”专忍不住了。

“就始!”何星舟笑,他知,次尝试必定功!是己解锁光刻机技术,思考计算了一月,才完的设计!

……

灯国,“复仇者联盟”正在召。

不是动漫电影的复仇者联盟,是由白鹰领头,组建的EUV光刻机技术联盟。

由英特尔、AMD、摩托罗拉IBM等业界巨头,加隶属白鹰的桑迪亚国实验室劳伦斯利弗莫尔国实验室组!

除了白鹰有一,西方联盟有一类似的,由三十国,数百企业组,全部是光刻机及芯片的相关产业。

风车国的阿斯麦公司生产世界最顶级的极紫外光刻机,就是因获了他的支持!

眼,因那“全面合”协议,白鹰的EUV联盟西方联盟的EUV联盟始合,共同讨论“合细节”。

联盟长福斯特坐在首席,他是白鹰统领不久前刚任命的,其风格做派比一任强硬许!

与的员,全是国际巨头的代表!说,他些公司,就代表了全世界最顶级的光刻机、芯片技术!

“樱花那边向我提建议,说极紫外光刻胶技术已经被神州攻克,希望放极紫外光刻胶市场!”福斯特慢条斯理说,“有什意见?”

“不放!”一言的代表就表示反,他是陶氏集团的代表莫尔顿,同是世界排名前五的光刻胶企业。

他义正言辞说:“既我达了合协议,就共同进退。今放一光刻胶,明又有人说光刻机透镜头、又有人说放光刻机轴承,,我的合协议岂不是一纸空文?”

“莫尔顿先生说的不错。”立刻就有员支持他的观点,说:“光刻机芯片制造技术,必须牢牢掌控在我手中,一口子不打!”

“再者,神州的极紫外光刻胶底是实验室产品,是量产,现在有定论。万一是他布置的骗局,我就了!”

莫尔顿的意见了一致的支持,福斯特点头:“既,就维持我的现有措施。”

其实EUV联盟说,他跟樱花并不是一条战线,初联盟立初,就是了针樱花的半导体行业。

所樱花的相关行业生死,他

(本章未完)

第092章 极紫外光刻技术目录+书签-->